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67项电子特种气体标准盘点
双击自动滚屏 发布者:zq1229 发布时间:2021/5/14 16:05:06 阅读:350次 【字体:
 

67项电子特种气体

超大规模集成电路、平板显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产、薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺


特种气体是用途有别于一般气体的气体,是一个笼统的概念。它在纯度、品种、性能方面都是严格按照一定规格进行生产和使用的。一般认为,特种气体是由电子气体、高纯石油化工气体和标准混合气体所组成。另外,在半导体制造业中,气体还可以分为大宗气体和电子气体,大宗气体是指集中供应且用量较大的气体,如N2、H2、O2、Ar、He 等。电子气体主要是半导体制造的每一个过程如外延生长、离子注入、掺杂、刻蚀清洗、掩蔽膜生成所用到的各种化学气体,如高纯SiH4、PH3、AsH3、B2H6、N2O、NH3、SF6、NF3、CF4、BCI3、BF3、HCI、CI2等,又可称为电子特种气体。

电子特种气体是超大规模集成电路、平板显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可或缺的原材料,它们主要应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。电子工业服务的电子气品种繁多,用途五花八门。各类半导体用电子气体标准主要由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会制定。

为不断推动电子特气产业发展,国家出台了各种相关标准。仪器信息网特对电子特气相关标准规范进行盘。本次盘点涉及国际标准和国家标准两类,涉及国际标准40项,国家标准27项,共计67项标准。详情如下,

国际标准

计划号    项目名称    制修订    计划下达日期    项目状态
20204890-T-469    电子特气 一氧化氮    制订    2020/12/28    正在起草
20204889-T-469    电子特气 六氯乙硅烷    制订    2020/12/28    正在起草
20200854-T-469    电子特气 三氟化氮    修订    2020/3/6    正在批准
20200797-T-469    电子特气 三氯化硼    修订    2020/3/6    正在批准
20192162-T-469    电子特气 氨    修订    2019/7/12    正在审查
20192161-T-469    电子特气 磷化氢    修订    2019/7/12    正在审查
20184308-T-469    电子特气 六氟丁二烯    制订    2018/12/29    正在批准
20184306-T-469    电子工业用二氯硅烷    制订    2018/12/29    已发布
20184310-T-469    电子工业用四氯化硅    制订    2018/12/29    已发布
20184309-T-469    电子特气 氟甲烷    制订    2018/12/29    正在批准
20132258-T-469    电子工业用气体 六氟乙烷    制订    2014/1/26    已发布
20132259-T-469    电子工业用气体 三氟甲烷    制订    2014/1/26    已发布
20132260-T-469    电子工业用气体中金属含量的测定   电感耦合等离子体质谱法    制订    2014/1/26    已发布
20132255-T-469    半导体制造用气体处理指南    制订    2014/1/26    已发布
20132257-T-469    电子工业用气体 硅烷    修订    2014/1/26    已发布
20132256-T-469    电子工业用气体 丙烯    制订    2014/1/26    已发布
20120270-T-469    电子工业用气体 八氟丙烷    制订    2012/10/12    已发布
20120271-T-469    电子工业用气体 锗烷    制订    2012/10/12    已发布
20110736-T-469    电子工业用气体 四氟化硅    制订    2011/12/14    已发布
20111284-T-469    电子工业用气体 高纯氯    修订    2011/12/14    已发布
20110735-T-469    电子工业用气体 六氟化钨    制订    2011/12/14    已发布
20111285-T-469    电子工业用气体 氯化氢    修订    2011/12/14    已发布
20101283-T-469    电子工业用气体 六氟化硫    修订    2010/12/17    已发布
20091223-T-469    电子工业用气体 八氟环丁烷    制订    2009/12/15    正在审查
20091224-T-469    电子工业用气体 四氟化碳    制订    2009/12/15    正在审查
20081120-T-469    电子工业用气体 砷化氢    制订    2008/11/3    已发布
20081121-T-469    电子工业用气体 硒化氢    制订    2008/11/3    已发布
20081119-T-469    电子工业用气体 三氯化硼    修订    2008/11/3    已发布
20070017-T-469    电子工业用气体 5N氯化氢    制订    2007/5/18    已发布
20062982-T-469    电子工业用气体 磷化氢    修订    2005/12/30    已发布
20062406-T-469    电子工业用气体 氦    修订    2005/12/30    已发布
20062405-T-469    电子工业用气体 氢    修订    2005/12/30    已发布
20062408-T-469    电子工业用气体 氩    修订    2005/12/30    已发布
20062751-T-469    电子工业用气体 三氟化硼    修订    2005/12/30    已发布
20062752-T-469    电子工业用气体 氧    修订    2005/12/30    已发布
20062749-T-469    电子工业用气体 氧化亚氮    修订    2005/12/30    已发布
20062750-T-469    电子工业用气体 氨    修订    2005/12/30    已发布
20062407-T-469    电子工业用气体 氮    修订    2005/12/30    已发布
20064396-T-469    电子工业用气体 硅烷(SiH4)    修订    2005/12/30    已发布
20051092-T-469    电子工业用气体 三氟化氮    制订    2005/12/15    已发布
国家标准


标准号    标准中文名称    发布日期    实施日期    标准状态
GB/T   38866-2020    电子工业用二氯硅烷    2020/7/21    2021/2/1    现行
GB/T   38867-2020    电子工业用四氯化硅    2020/7/21    2021/2/1    现行
GB/T   34091-2017    电子工业用气体 六氟乙烷    2017/7/31    2017/11/1    现行
GB/T   34085-2017    电子工业用气体 三氟甲烷    2017/7/31    2017/11/1    现行
GB/T   15909-2017    电子工业用气体 硅烷    2017/5/31    2017/12/1    现行
GB/T   33774-2017    电子工业用气体 丙烯    2017/5/31    2017/12/1    现行
GB/T   32386-2015    电子工业用气体 六氟化钨    2015/12/31    2016/7/1    现行
GB/T   31986-2015    电子工业用气体 八氟丙烷    2015/9/11    2016/5/1    现行
GB/T   31987-2015    电子工业用气体 锗烷    2015/9/11    2016/5/1    现行
GB/T   31058-2014    电子工业用气体 四氟化硅    2014/12/22    2015/7/1    现行
GB/T   18867-2014    电子工业用气体 六氟化硫    2014/12/22    2015/7/1    现行
GB/T   14602-2014    电子工业用气体 氯化氢    2014/12/22    2015/7/1    现行
GB/T   18994-2014    电子工业用气体 高纯氯    2014/12/22    2015/7/1    现行
GB/T   26249-2010    电子工业用气体 硒化氢    2011/1/14    2011/5/1    现行
GB/T   26251-2010    氟及氟氮混合气    2011/1/14    2011/5/1    现行
GB/T   17874-2010    电子工业用气体 三氯化硼    2011/1/14    2011/5/1    现行
GB/T   26250-2010    电子工业用气体 砷化氢    2011/1/14    2011/5/1    现行
GB/T   14851-2009    电子工业用气体 磷化氢    2009/10/30    2010/5/1    现行
GB/T   14600-2009    电子工业用气体 氧化亚氮    2009/10/30    2010/5/1    现行
GB/T   14601-2009    电子工业用气体 氨    2009/10/30    2010/5/1    现行
GB/T   14603-2009    电子工业用气体 三氟化硼    2009/10/30    2010/5/1    现行
GB/T   16945-2009    电子工业用气体 氩    2009/10/30    2010/5/1    现行
GB/T   16944-2009    电子工业用气体 氮    2009/10/30    2010/5/1    现行
GB/T   14604-2009    电子工业用气体 氧    2009/10/30    2010/5/1    现行
GB/T   16942-2009    电子工业用气体 氢    2009/10/30    2010/5/1    现行
GB/T   16943-2009    电子工业用气体 氦    2009/10/30    2010/5/1    现行
GB/T   21287-2007    电子工业用气体 三氟化氮    2007/12/14    2008/7/1    现行

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